一、電子工廠生產(chǎn)工藝對受控環(huán)境的要求電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠;液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機電致發(fā)光顯示器(PLED) 等光電子工廠都離不開潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅僅有:建筑圍護、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料,而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如:建筑的形式和層高、結(jié)構(gòu)的承重、圍護結(jié)構(gòu)的裝修材料;環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力;水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等??偟膩碚f,電子工廠生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求可用大、凈、精、純、嚴(yán)五個字來形容?!翊螅荷a(chǎn)工藝要求潔凈室的面積越來越大。●凈:電子工廠,尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD) 前工序的潔凈室對環(huán)境潔凈度的要求越來越凈?!窬弘娮庸S生產(chǎn)工藝對環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越精?!窦儯捍笠?guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹碓郊??!駠?yán):電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對環(huán)境的潔凈度,溫、濕度有嚴(yán)格的要求,同時對環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn),對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴(yán)格的要...
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一、電氣設(shè)計1.電子潔凈廠房的電氣設(shè)計電子潔凈廠房電氣設(shè)計一般包括電力系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)及防雷接地系統(tǒng),各系統(tǒng)與其它專業(yè)相互配合,是電子潔凈廠房安全生產(chǎn)不可缺少的因素。2.電子潔凈廠房電力系統(tǒng)確定負荷分級根據(jù)室外消防水量確定消防設(shè)備的負荷等級,根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求確定工藝設(shè)備的負荷等級,選用合理的供電方式。電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備,應(yīng)由專用變壓器或?qū)S玫蛪吼侂娋€路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動力設(shè)備,設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置。電子潔凈廠房中有些工藝設(shè)備是特殊電壓,根據(jù)特殊電壓設(shè)備分布及種類,確定采用集中式特種變壓器或分布式特種變壓器。3.配電系統(tǒng)電子潔凈廠房工藝設(shè)備、動力設(shè)備、照明設(shè)備配電系統(tǒng)分開,一般采用放射式、樹干式結(jié)合的配電方式分別進入設(shè)備或電力照明配電箱。在設(shè)計時與業(yè)主充分溝通,選擇低壓電纜直接配電或采用母線槽的配電方式。4.設(shè)備選擇潔凈室的配電設(shè)備,應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設(shè)備。配電箱可暗裝在回風(fēng)夾道或灰區(qū)內(nèi)。利用箱內(nèi)的低壓斷路器或漏電斷路器作過載、短路及漏電保護,并采用手動斷合操作。工藝配電箱配電按照工藝流程合理劃分。在腐蝕性區(qū)域內(nèi)各類電氣設(shè)備及附件如支架、螺母等都應(yīng)選用防腐蝕材料。防爆房間內(nèi)電氣設(shè)備防爆等級符合規(guī)范要求,在爆炸危險環(huán)境內(nèi),電氣設(shè)備的金屬外殼應(yīng)可靠接地。5.導(dǎo)線選擇和線路敷設(shè)潔凈室為密閉空間,一旦出現(xiàn)火情...
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一、室內(nèi)空氣參數(shù)要求(1)溫濕度要求:溫度一般為24±2℃, 相對濕度為55±5%。(2)新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,可根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最值:非單向流潔凈室總風(fēng)量的10~30%;補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保持室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。(3)送風(fēng)量大。為了滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及溫濕度平衡,需要較大的風(fēng)量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級的,送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。二、空調(diào)方案的選用比較(1)組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段,初效過濾段,表冷段,二次回風(fēng)段(或中間段),加熱段,加濕段,中效過濾段,風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。優(yōu)點:A.空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過集中處理,在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度,濕度的控制比較精確;B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;C.空調(diào)冷熱源可于廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源;D.維修頻率較低;E.車間的噪音低。缺點:A.需要有配套的冷凍機房或有放...
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一、潔凈廠房的總平面布置(1)潔凈廠房防火間距應(yīng)符合GB 50016-2006《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(以下簡稱《建規(guī)》)3、4節(jié)的規(guī)定。(2)潔凈廠房周圍宜設(shè)環(huán)形消防車道,如有困難,可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車通道。(3)按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間應(yīng)用防火墻進行分隔,防火墻上需開設(shè)門窗洞口的,應(yīng)采用甲級防火門。二、潔凈廠房的耐火等級(1)潔凈廠房生產(chǎn)用的原料及加工后的成品多為易燃或可燃物品,其火災(zāi)危險性不低于丙類生產(chǎn)廠房,潔凈廠房的耐火等級不低于二級。(2)潔凈廠房如采用全鋼結(jié)構(gòu),或部分采用鋼結(jié)構(gòu),其承重用的柱、梁、檁條、拉筋應(yīng)作防火處理。如采用刷涂鋼結(jié)構(gòu)防火涂料,柱梁、檁條、拉筋的耐火極限則分別不低于2.5h、1.5h、1 h,如墻體采用彩鋼夾芯板,則其夾芯材料應(yīng)采用不燃材料,嚴(yán)禁采用聚氨脂泡沫板等易燃材料。三、潔凈廠房的防火分區(qū)(1)甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房因其有爆炸危險性,宜為單層,其防火分區(qū)最大允許建筑面積、單層廠房宜為3000 m2 ,多層廠房宜為2000 m2。(2)丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈廠房其防火分區(qū)要求同普通廠房,最大允許建筑面積應(yīng)符合(建規(guī)》的規(guī)定。(3)潔凈廠房的防火分隔。①在一個防火分區(qū)內(nèi)的綜合性廠房,其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃體隔斷措施。隔墻及其相應(yīng)頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1 h,隔墻上的門窗應(yīng)為丙級防火門窗...
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一、高大潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點高大潔凈廠房建筑顧名思義便是建筑的空間結(jié)構(gòu)要求跨度大、高度高,某些裝配類高大潔凈廠房跨度通常在幾十米甚至上米,高度通常在20~30m,這是形成溫度梯度的主要原因。就眼下情況而言,高大潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點如下:(1)主要參數(shù)控制。非凈化空調(diào)系統(tǒng)一般側(cè)重溫度、濕度、新鮮空氣量和噪聲的控制,對溫、濕度有要求的凈化房間,則不僅要控制空氣的溫、濕度的基礎(chǔ).上還要控制室內(nèi)空氣的含塵量、風(fēng)速、換氣次數(shù)等。這些均是室內(nèi)的主要控制參數(shù)。(2)空氣過濾手段。一般空調(diào)有的只有粗效一級過濾,或者要求較高的建筑有些設(shè)置了粗效、中效兩級過濾處理。而凈化空調(diào)一般會設(shè)置三級過濾,即粗、中、高效三級過濾,或粗、中、亞高效三級過濾。(3)特殊材料要求。對選用的設(shè)備材料的要求與常規(guī)空調(diào)系統(tǒng)均有所區(qū)別,凈化空調(diào)為了不被外界污染,凈化空調(diào)系統(tǒng)材料和設(shè)備的選擇、加工工藝、加工安裝環(huán)境、設(shè)備部件儲存環(huán)境等,均有特殊的要求。(4)氣密性的要求。非凈化空調(diào)系統(tǒng),對系統(tǒng)的氣密性雖有要求,但是一般空調(diào)要求不嚴(yán)格,加上施工和測試不嚴(yán)格,漏風(fēng)量大,這些在潔凈空調(diào)系統(tǒng)上區(qū)別比較大,潔凈空調(diào)系統(tǒng)對機組和管道系統(tǒng)的氣密性均有要求,而且對施工和檢測等均有嚴(yán)格要求,要求各個環(huán)節(jié)均必須按照現(xiàn)有規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,才能保證系統(tǒng)外的空氣不進入該系統(tǒng)內(nèi),對該系統(tǒng)造成影響,才能保證室內(nèi)的潔凈度。通常設(shè)計過程中要求更嚴(yán)格。二、高大潔凈廠房...
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實現(xiàn)生產(chǎn)環(huán)境或其他用途的潔凈室所要求的空氣潔凈度的技術(shù)手段包括:氣流技術(shù)(送風(fēng)量與流型);壓力控制技術(shù)(正負壓)。氣流技術(shù)確保了盡快稀釋或排走室內(nèi)污染;壓力控制技術(shù)阻止室外污染入侵。一、氣流組織凈化空調(diào)的氣流組織所實現(xiàn)的主要目的是:供給足量的清潔空氣,稀釋并替換室內(nèi)所產(chǎn)生的污染物質(zhì),使室內(nèi)潔凈度保持在允許的范圍之內(nèi)。它要求送入凈化房間的潔凈氣流擴散速度快氣流分布均勻,以盡快稀釋室內(nèi)污染源所散發(fā)的污染物質(zhì),維持生產(chǎn)環(huán)境所要求的潔凈度;使散發(fā)到室內(nèi)的污染物質(zhì)能迅速排出室外,盡量避免或減少氣流渦流和死角,縮短污染物質(zhì)在室內(nèi)的滯留時間,降低污染物質(zhì)與產(chǎn)品的接觸機率;滿足室內(nèi)溫濕度等空調(diào)送風(fēng)要求及人的舒適度要求。目前潔凈室的氣流組織形式主要采用單向流和非單向流兩種類型。非單向流式的氣流組織利用送風(fēng)的干凈氣流的混合稀釋作用,把原來含塵濃度較高的室內(nèi)空氣沖淡,同時使室內(nèi)污染源所產(chǎn)生的污染物質(zhì)均勻擴散并及時排出室外,達到動態(tài)平衡,滿足室內(nèi)潔凈度要求。非單向流式一般采用上送下回的形式,使氣流自上而下,與塵粒所受的重力向一致。由于送風(fēng)口形式和布置的限制,它不可能獲得很大的換氣次數(shù),而且室內(nèi)不可避免地存在渦流,因而其所能實現(xiàn)的潔凈度不可能很高。構(gòu)造簡單、施工方便、投資和運行費用較小。單向流氣流組織主要利用送入凈化房間的充滿整個潔凈室斷面的氣流所產(chǎn)生的“活塞效應(yīng)",把室內(nèi)隨時產(chǎn)生的污染物質(zhì)壓至下...
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空氣凈化一方面是送入潔凈空氣對室內(nèi)污染空氣進行稀釋,另一方面是加速排出室內(nèi)濃度高的污染空氣。為保證生產(chǎn)環(huán)境或其他用途的潔凈室所要求的空氣潔凈度,需要采取多方面的綜合措施才能達到目標(biāo)。這些綜合措施包括以下幾個方面:①控制污染源,減少污染發(fā)生量;②有效阻止室外的污染侵入室內(nèi)或防止室內(nèi)污染逸至室外;③迅速有效地排除室內(nèi)已經(jīng)發(fā)生的污染;④流速控制;⑤系統(tǒng)的氣密性;⑥建筑上的措施。1設(shè)計參數(shù)凈化空調(diào)設(shè)計參數(shù)的確定與普通舒適性空調(diào)系統(tǒng)有很大的區(qū)別。從溫濕度來說,舒適性空調(diào)的室內(nèi)溫濕度的確定只考慮工作人員的舒適性要求,而凈化空調(diào)不僅要考慮舒適性,更重要的是保證工藝所要求的特殊的溫度、濕度環(huán)境(包括減少靜電荷)。除了溫濕度以外,凈化空調(diào)的設(shè)計參數(shù)還包括室內(nèi)外的發(fā)塵量和發(fā)菌量。室外大氣塵計數(shù)濃度各地差異很大,最高值為106粒/L。對于高效空氣凈化系統(tǒng)的5級及其以下的潔凈室,當(dāng)大氣塵濃度在106粒/L以內(nèi)變化時,對潔凈室含塵濃度的影響可以忽略不計。高效空氣凈化系統(tǒng)的設(shè)計大氣塵濃度宜取M=106粒/L。而中效空氣凈化空氣系統(tǒng),其潔凈度受大氣塵濃度影響很大,所以設(shè)計大氣塵濃度宜分區(qū)決定。室內(nèi)發(fā)塵量主要包括人和建筑表面、設(shè)備表面以及工藝發(fā)塵。實踐證明,人的發(fā)塵量是最主要的,人稍許動作或進出潔凈室,潔凈室含塵濃度均可有成倍到幾倍的增高,潔凈室灰塵主要來源于人,占80% ~90%。人靜止時發(fā)塵量為105粒/mi...
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一、凈化風(fēng)管、靜壓箱等部件制作與安裝及控制要點1接縫:不允許管道有橫向接縫,縱向接縫也要盡量減少,而當(dāng)?shù)走叀?00mm時,在底面板上不許有縱向接縫。2密封:所有咬口縫、翻邊處、鉚釘處都必須涂密封膠。3法蘭:四角應(yīng)設(shè)螺釘孔,孔距≤100mm。 螺釘、螺母、墊片、鉚釘均應(yīng)鍍鋅。4制作風(fēng)管、靜壓箱等部件前,應(yīng)將鍍鋅鋼板上的油污和灰塵擦拭干凈,防止鋼板表面油膜沾染灰塵。在油污擦洗后再用清水將清洗劑的殘留物擦凈。5潔凈系統(tǒng)的風(fēng)管和靜壓箱等部件制作時,應(yīng)選擇環(huán)境清潔、干燥、遠離塵源或上風(fēng)側(cè)作為預(yù)制加工的場地。制作完畢應(yīng)將兩端和所有開口處用塑料薄膜包口封閉,用膠帶粘牢,防止灰塵進入風(fēng)管內(nèi)。6風(fēng)管和靜壓箱等安裝前,在施工現(xiàn)場將風(fēng)管兩端封閉塑料薄膜打開,再一次將風(fēng)管內(nèi)后來帶人的灰塵進行擦拭。系統(tǒng)安裝完畢或暫停安裝時,必須將風(fēng)管的開口處封閉,防止灰塵進入,夾壁墻內(nèi)的風(fēng)管安裝前,應(yīng)將夾壁墻的雜物灰塵清理干凈,避免對風(fēng)管造成二次污染。7凈化系統(tǒng)風(fēng)管的咬口形式,采用咬口縫隙較小的轉(zhuǎn)角咬口聯(lián)合角咬口。8風(fēng)管的咬口縫、鉚釘孔及風(fēng)管翻邊的四個角,必須用密封膠進行封閉。密封膠采用對金屬不腐蝕、流動性好、固化快、富于彈性及遇到潮濕不易脫落的產(chǎn)品。在涂抹密封膠時,為保證密封膠與金屬板粘接的牢固,涂抹必須將密封處的油污擦洗干凈。9潔凈系統(tǒng)風(fēng)管拼接縫隙不能過多。矩型風(fēng)管底邊800mm以內(nèi),不應(yīng)有拼接縫,800mm以上,應(yīng)盡...
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醫(yī)院潔凈手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)控制室內(nèi)溫度、相對濕度、塵、菌及有害氣體濃度,并提供室內(nèi)人員所需的新風(fēng)量,維持室內(nèi)外合理的氣流分布,其中對相對.濕度的控制在手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)中顯得特別重要。如果在一手術(shù)室里相對濕度降不下來,那么在這個相對濕度較高的手術(shù)室里,不僅會促使人體發(fā)菌量增加,還為細菌的繁殖、生存提供營養(yǎng)源。那么在手術(shù)過程中手術(shù)傷口就容易受到感染。在過渡季節(jié)相對濕度的問題尤其突出,而我國南方沿海地區(qū)大部分城市高濕度季節(jié)的時間很長,就更加不能不考慮潔凈手術(shù)室內(nèi)的相對濕度有效控制問題了。一、國內(nèi)手術(shù)室常見的空調(diào)除濕方案及其存在的問題一般手術(shù)室室內(nèi)要求溫度為22~25℃,相對濕度為40%~60%,有些特殊的手術(shù)類型要求的相對濕度可能更低些。目前國內(nèi)在手術(shù)室空調(diào)濕度控制這方面的普遍做法是(以下簡稱傳統(tǒng)方案):新回風(fēng)混合后先經(jīng)過表冷器降溫除濕,此時的相對濕度一般為 90%左右,遠達不到手術(shù)室的濕度要求,然后再經(jīng)過電熱管再熱空氣,通過這個等濕升溫過程來降低相對濕度。這一做法濕度是達到要求了,但它不可避免地出現(xiàn)了如下幾個問題:1.初投資增加:由于考慮到電加熱會抵消一部分機組的冷量,所以空調(diào)機組設(shè)計選型時必須要考慮預(yù)留足夠的制冷性能余量,造成設(shè)備初投資增加。例如:某醫(yī)院手術(shù)室冷負荷為16kW,但該空調(diào)系統(tǒng)需匹配約6kW的電加熱才能滿足相對濕度的要求,那么選型的空調(diào)機組的制冷量就要22kW。2.能耗增加:當(dāng)...
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1醫(yī)院潔凈手術(shù)室空調(diào)設(shè)計的意義隨著科技日新月異的進步、經(jīng)濟的迅猛發(fā)展以及人民生活水平的提高,人們越來越重視自身的健康問題,從而對醫(yī)療條件的要求越來越高,這就對醫(yī)院手術(shù)室醫(yī)療設(shè)施提出了新的要求。現(xiàn)在一些大型綜合醫(yī)院已經(jīng)設(shè)置了可以達到國際標(biāo)準(zhǔn)的潔凈手術(shù)室,使醫(yī)院手術(shù)的硬件環(huán)境達到一個新的水平,那么如何即能保障手術(shù)的順利進行,又要保障醫(yī)護人員和患者的人身安全,是潔凈手術(shù)室空調(diào)設(shè)計必須解決的問題。2潔凈手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)控制要求1)溫度控制要求:通過設(shè)置在風(fēng)管里的溫濕度一體傳感器檢測回風(fēng)溫度,并將所測得的溫度信號送到PLC的模擬輸入端。PLC將測得的溫度和通過手術(shù)室面板溫度設(shè)定值比較并進行PID計算,將結(jié)果輸出到相應(yīng)模擬量輸出,如冷凍/熱水的電動調(diào)節(jié)閥,通過控制其開度達到溫度控制的目的。2)濕度控制要求:通過設(shè)置在風(fēng)管里的溫濕度一體傳感器檢測回風(fēng)濕度,并將所測得的溫度信號傳送到PLC的模擬輸入端。3)風(fēng)道壓力控制:按照工藝要求,風(fēng)道內(nèi)壓力需保持一定值,以滿足手術(shù)室醫(yī)用要求。系統(tǒng)通過變頻器驅(qū)動送風(fēng)機,事先將滿足工藝要求時的變頻器頻率值作為設(shè)定值,將設(shè)置在管道內(nèi)的回風(fēng)壓力檢測傳感器測得的壓力值作為反饋值,通過PID計算控制變頻器的輸出頻率,以達到風(fēng)壓控制要求。4)人機界面要求:按照現(xiàn)場工藝要求,在手術(shù)室內(nèi)設(shè)有操作面板一塊,可以設(shè)定溫度,濕度并控制系統(tǒng)啟停,同時面板上有實時溫度和濕度顯示功能:同樣,...
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