一、高純氣體 、特種氣體管道及其閥門附件等的材質應符合工程設計文件的要求。采用低碳不銹鋼管時,其安裝施工應符合規范的規定。二、管路系統的試運轉應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。三、高純氣體、特種氣體供應設施安裝前,應按工程設計文件和產品說明書的要求,檢查設備及填充的純化材料、閥門和管件的完整性、密封性,并應做檢查記錄。檢查數量:按氣體品種、分系統全數檢查。檢驗方法:觀察檢查、尺量。四、純化設備、特氣柜的搬運、就位應符合下列規定:1搬入潔凈室(區)前應進行清潔,符合要求后應從規定的設備搬入口運入;2整體設備搬運時,應按設備的構造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運輸,不得倒置,并應可靠固定;3設備就位時,應按工程設計文件和產品說明書要求,做好接管、接線定位;4就位后,水、電接口應按工程設計文件要求連接;5氣體管道接口應在分系統的氣體輸送管道安裝試運轉合格后再連接。檢查數量:按氣體品種、分系統全數檢查。檢驗方法:觀察檢查、尺量。五、高純氣體、特種氣體系統的閥門箱、吹掃盤的安裝應符合下列規定:1應檢查箱體及箱內閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等,并應做好記錄;2安裝位置應按工程設計文件、產品說明書要求進行,并應檢查接管、接線方位的正確性;3氣體管道接口應在所在系統試運轉合格后再連接。檢查數量:按氣體品種、分系統全數檢查。檢驗方法:觀察檢查、尺量。六、高純氣體、特種氣體...
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2024
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一、微振控制設施施工(一)一般規定1微振控制設施應與潔凈廠房主體結構、動力公用工程、凈化空調系統、排風系統等相關設施同步施工安裝。2微振控制設施的施工應根據具體工程項目特點,并按微振控制設施的設計、測試和建造程序進行。(二)微振控制設施施工主控項目(1)潔凈廠房的微振控制設施的施工應按下列階段進行測試分析:1現場環境振動測試及分析;2建筑結構振動特性測試及分析;3精密設備儀器安裝場所環境振動測試及分析;4竣工驗收測試及分析。檢查數量:全數檢查。檢驗方法:核查測試分析報告。(2)隔振臺、隔振裝置、隔振器等的施工安裝應符合工程設計文件的要求。檢查數量:全數檢查。檢驗方法:核查施工安裝記錄。(3)隔振裝置施工安裝時,應核對空氣彈簧隔振器、阻尼器、限位器、高度調節器,以及配管、底座的規格、數量、尺寸,并應符合設計要求。檢查數量:全數檢查。檢驗方法:觀察檢查,尺量。(4)安裝隔振器的地面、臺板等應平整、清潔;各組(個)隔振器承受荷載的壓縮量應均勻,高度誤差應小于2.0mm。檢查數量:全數檢查。檢驗方法:觀察檢查,尺量。(5)隔振設施安裝時應調整被隔振體高度達到規定值。檢查數量:全數檢查。檢驗方法:觀察檢查,尺量。一般項目(6)隔振臺的臺板表面應平整、清潔,臺板水平度誤差應符合設計要求,且不宜大于3‰。檢查數量:全數檢查。檢驗方法:觀察檢查,尺量。(7)隔振所用的支、吊架,其結構形式、尺寸應符...
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一、一般規定(1)屏蔽設施的施工安裝應制定屏蔽體施工方案,嚴格審查圖紙。(2)屏蔽材料選擇、屏蔽體(墻體則包括觀察窗)厚度、屏蔽體結構應嚴格符合設計要求。二、屏蔽體(1)當電磁屏蔽采用混凝土時,其密度不得低于設計要求,并不小于2.35t/m3,骨料宜用重晶石(硫酸鋇),厚度不得小于設計要求。(2)應制定選配混凝土并保證其達到密度大于等于2.35t/m3的措施、混凝土養護過程中產生的溫度與外界溫度之差不超過20℃的措施和澆搗、養護施工縫處理措施,并應制定墻體和屋頂模板支護方案。(3)當所用混凝土不具備2.35t/m3的密度而具有實際密度值r,應增加屏蔽層原設計厚度δ,實際所需混凝土厚度δ按下式校正:δ= 2.35δ0/γ0(4)現澆混凝土模版應平整光滑,并應以實心圓鋼用對翹螺栓固定,控制厚度。(5)混凝土應一次性連續澆注,根據氣象信息,選擇適合大體積混凝土施工的周期。混凝土應分層搗實,每層控制在300mm~500mm,澆注振搗必須均勻密實。(6)應制作屏蔽體試塊進行密度、強度等檢測,檢測結果應符合設計要求。(7)在輻射源與防護門之間加設的屏蔽體(防護內墻)所形成的防護通路,其寬度與高度應滿足可以過人過物為原則,不宜超過0.9m,不應超過1.4m。三、屏蔽室(1)可拆卸式電磁屏蔽室的壁板、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板,或0.3mm~0.5mm厚銅板、鋁板或不銹鋼板。屏蔽模塊板相互連...
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一、原理(1)保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求,但條件允許時,負壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負壓檢驗。(2)可按以下方法進行檢測:1.壓力衰減法使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關閉加壓或抽負壓系統,觀察壓力隨時間哀減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的半時所用的時間,即為測量室內正壓或負壓的半衰期。2.恒壓法使室內達到某一正壓,同時向室內補氣,使室壓達到要求的穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓,使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。二、壓力衰減法(1)可按以下步驟進行檢測1.將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定,記錄壓力衰減測試過程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。2.關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等,關閉回風管(或排風管)上的氣密閥門,不得在風口上加其他密封措施,并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。3.開啟送風,使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍,最小示值不宜大于10Pa),壓力穩定后,停止送風,關閉送風閥門。4.或反之關閉送風管上的閥門,如果送風管上無閥或閥不嚴,應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口,開啟排風,使室內壓力下降至已商定的測試壓力,壓力穩定后,停止排風,關閉排風氣密閥門。5.從停止送(排)風起,記錄壓力隨時間衰減的數據,每1min記錄1次壓差和...
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一、溫濕度的檢測(1)無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求:1室內空氣溫度和相對濕度測定之前,空調凈化系統應已連續運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數字式溫濕度計;濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據溫濕度的波動范圍,應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的最小刻度不宜高于0.4℃,濕度檢測儀表的最小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點,應在溫濕度讀數穩定后記錄。測完室內溫濕度后,還應同時測出室外溫濕度。(2)有恒溫恒濕要求房間的溫濕度檢測應符合下列要求:1選擇以下檢測儀器:1)溫度計:采用鉑電阻、熱電偶或其他類似溫度傳感器組成測溫系統;2)濕度計:可采用干濕球溫度計或其他固態濕度傳感器組成測濕系統。2檢測方法與步驟如下:1)室內空氣溫度和相對濕度測定之前,空調系統應已連續運行至少12h;2)根據溫度和相對濕度波動范圍,應選擇相應的具有足夠精度的儀表進行測定。根據由低到高的精度,測定宜連續進行(8~48)h,每次測定間隔不應大于30min;3)室內測點可在送回風口處或在恒溫恒濕工作區具有代表性的地點布置。測點一般應布置在距外墻表面大于0.5m、距地0.8m的同一高度上;也可以根據恒溫恒濕區的大小,分別布置在離地不同高度的幾個平面上。(3)按以下方法進行數據整理:室內溫度、相對濕度波動范圍:按各測點的各次溫度和相對濕度...
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一、一般規定1承擔潔凈室施工的單位應按規范的相關規定,建立質量管理體系。2潔凈室的各級施工人員應有必要的潔凈室施工經歷,明確的分工和職責。3特殊工種作業人員應持證上崗。4施工單位應編制施工組織設計,制定具體工程的施工程序,并按程序對施工全過程實行質量控制。5施工過程中,不得違反設計文件擅自改動系統、參數、設備選型、配套設施和主要使用功能。當修改設計時,應經原設計單位確認、簽字,并得到建設單位的同意,在通知監理方之后執行。6施工安裝的全過程、竣工設施的詳細情況、所有操作和維護程序,都應采用文件形式確認。為施工安裝的運作提供文字依據,為責任和獎懲提供明確依據,為質量改進提供原始依據。7應加強施工現場的防火工作,嚴格執行防火安全規定,施工隊伍進入現場應建立防火組織,責任到人。8應做好安全技術工作的書面交底,并認真做好記錄,加強防范意識。二、人員和文件1施工生產管理和質量管理的責任人不得互相兼任。必須配備質量檢查人員。2各級施工負責人和質量檢驗人員應定期經過潔凈室施工驗收規范的專業技術培訓。3工程施工應有開工報告、 分項驗收單、竣工驗收檢測調整記錄和竣工驗收單、竣工報告,按規定記錄。4施工安裝工程中應有設備開箱檢查記錄、土建隱蔽工程記錄、管線隱蔽工程系統封閉記錄、管道壓力試驗記錄、管道系統清洗(脫脂)記錄、風管清洗記錄、風管漏風檢查記錄、設備單機試運轉記錄、系統聯合試運轉記錄等,按規定記錄...
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一、防靜電地面(1)防靜電地面面層應選擇耐磨、耐腐蝕、耐老化、不產塵、防火并具有穩定持久的防靜電性能的材料制作。(2)在有220V及其以上電壓的場所,其防靜電地面宜使用靜電耗散型材料,其表層的表面電阻應為1×105Ω~1×1010Ω,或體積電阻1×104Ω~1×109Ω(3)具有不燃性能要求的地面宜選用防靜電水磨石和防靜電瓷質地板。二、防靜電水磨石地面(1)防靜電水磨石所用砂、石、水泥嵌條等材料,應符合規范的有關規定。(2)在導電地網上施工找平層,宜使用1:3干性水泥砂漿(按水泥重量的配比)摻入復合導電粉,復合導電粉由1份水泥砂漿與0.2%份導電粉組成,并攪拌均勻,覆蓋于導電地網上,然后鑲嵌分格條。(3)金屬嵌條截面宜為工字形,表面應作絕緣處理,敷設時不得交叉和連接,相鄰處有3mm間距,分格條與導電網之間距離不應小于10mm。(4)水磨石施工前應清理基層地面并涂以絕緣漆,對于露出表面的金屬應涂兩遍,然后敷設鋼筋導電地網,鋼筋直徑為4mm~6mm,地網與接地端子應焊接牢固。(5)最后施工水磨石面層,應符合規范的相關規定。(6)地面使用前應在水磨石面層上打防靜電地板蠟。三、防靜電聚氯乙烯(PVC)地板(1)防靜電PVC地板的施工除應符合規范的有關規定外,還應采用非水溶性導電膠粘貼,非水溶性導電膠中炭黑與膠水的配合比為1:100,膠的電阻值應小于貼...
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一、一般規定1消防系統施工使用的設備、組件和原材料應符合設計要求,并采用符合法定機構檢測確認合格的產品。2消防系統工程施工中采用的工程技術文件、承包合同文件對施工及質量驗收的要求不得低于本規范的規定。3自動噴水滅火系統、氣體滅火系統和火災自動報警系統的工程施工及驗收應符合相應的國家現行有關標準的規定。二、防排煙系統(1)排煙管道的安裝試驗應符合規范的有關規定。(2)排煙管道的隔熱層應采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。(3)磚、混凝土風道的制作應保證管道的氣密性,灰縫應飽滿,內表面水泥砂漿面層應平整。(4)送風口、排煙口的固定應可靠,表面應平整、無變形、調節靈活。排煙口距可燃物或可燃構件的距離不應小于1.5m。排煙口安裝時不應影響防倒灌設施正常發揮作用。排煙口應安裝板式排煙口,不應漏風。(5)排煙風機的安裝應符合下列規定:1當獨立排煙風機設在混凝土或鋼架基礎上時可不設減振裝置;若需設置減振裝置,則不應使用橡膠減振裝置。2排煙風機宜安裝在該系統最高排煙口之上,并宜安在機房內,機房與相鄰部位隔墻應符合防火要求。三、防火卷簾、防火門和防火窗(1)防火卷簾安裝應符合下列規定:1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當采用不燃或難燃材料封堵時,其耐火極限應不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護,其封堵材料亦應采用水幕保護。2 鋼質卷簾的簾板應平直,裝配成卷簾...
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一、一般規定潔凈室配電系統施工應按現行國家標準《建筑電氣工程施工質量驗收規范》GB 50303的要求,對所需各種材料、管線、盤柜、開關、燈具等檢驗合格后進行。二、線路(1)潔凈區用電線路與非潔凈區線路應分開敷設;主要工作(生產)區與輔助工作(生產)區線路應分開敷設;污染區線路與清潔區線路應分開敷設;不同工藝要求的線路應分開敷設。(2)穿過圍護結構的電線管應加設套管,并用不收縮、不燃燒材料將套管密封。進人潔凈室的穿線管口應采用無腐蝕、不起塵和不燃材料封閉。有易燃易爆氣體的環境,應使用礦物絕緣電纜,并應獨立敷設。(3)不應在建筑鋼結構構件上焊接固定配電線路、設備的支架螺栓。(4)施工配電線路的接地(PE)或接零(PEN)支線必須單獨與相應的干線連接,不得串聯連接。(5)金屬有線導管或線槽不應焊接跨接接地線,應用專用接地點跨接。(6)接地線穿越圍護結構和地坪處應加鋼套管,套管應接地。接地線跨越建筑物變形縫時,應有補償措施。三、電氣設備與裝置(1)潔凈室所用100A以下的配電設施與設備安裝距離不應小于0.6m,大于100A時不應小于1m。(2)潔凈室的配電盤(柜)、控制顯示盤(柜)、開關盒宜采用嵌人式安裝,與墻體之間的縫隙應采用氣密構造,并應與建筑裝飾協調一致。(3)配電盤(柜)、控制盤(柜)的檢修門不宜開在潔凈室內,如必須設在潔凈室內,應為盤、柜安裝氣密門。(4)盤(柜)內外表面應平滑,...
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一、給水1污染區域特別是微生物污染區域內的供水管,不得與用水設備直接相連,必須有空氣隔斷,配水口應高出用水設備溢出水位,間隔不應小于2.5倍出水口口徑。在供水點和供水管路上均應安裝壓差較高的倒流防止器,供水管上還應設關斷閥,供水管上的倒流防止器和閥門應設在清潔區。2潔凈區的給水管道應涂上醒目的顏色,或用掛牌方式,注明管道內水的種類、用途、流向等。3生活用水系統不應采用鍍鋅鋼管,可選用給水塑料管、不銹鋼管、無縫鋼管,工藝和空調給水系統應選用無縫銅管、聚丙烯管、不銹鋼管,并應采用焊接或快速接口連接。二、排水1污染區特別是致病微生物嚴重污染區域的排水管應明設,內壁光滑,并與墻壁保持一定檢查維修距離。有高致病性微生物污染的排水管線宜設透明套管。2污染排水管道應有足夠的強度和耐腐蝕性能。用化學滅菌的排水管道可用聚丙烯、聚氯乙烯材料。3致病微生物嚴重污染的排水管道如設有自動閥,應在其前后再設手動閥,閥門安裝位置和方式應有采用蒸氣和其他氣體滅菌的條件。4管線布置應符合設計要求。當設計未明確要求時,壓力給水管應避讓重力流排水管;附件少的管道應避讓附件多的管道。5致病微生物嚴重污染的排水管道上的通氣管應伸出屋頂,距站人地面應在2m以上,不要接到清潔區;周邊應通風良好,并遠離一切進氣口。處理排氣的高效空氣過濾器的安裝位置與方式應方便維修和拆換。不同用途房間的排水通氣管應各自獨立。不得將通氣口接入凈化空...
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