一、電氣設計

1.電子潔凈廠房的電氣設計

電子潔凈廠房電氣設計一般包括電力系統、照明系統、自動控制系統及防雷接地系統，各系統與其它專業相互配合，是電子潔凈廠房安全生產不可缺少的因素。

2.電子潔凈廠房電力系統

確定負荷分級根據室外消防水量確定消防設備的負荷等級，根據電子產品生產工藝及設備要求確定工藝設備的負荷等級，選用合理的供電方式。電子產品生產用主要工藝設備，應由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備，設置不間斷電源或備用發電裝置。

電子潔凈廠房中有些工藝設備是特殊電壓，根據特殊電壓設備分布及種類，確定采用集中式特種變壓器或分布式特種變壓器。

3.配電系統

電子潔凈廠房工藝設備、動力設備、照明設備配電系統分開，一般采用放射式、樹干式結合的配電方式分別進入設備或電力照明配電箱。在設計時與業主充分溝通，選擇低壓電纜直接配電或采用母線槽的配電方式。

4.設備選擇

潔凈室的配電設備，應選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設備。配電箱可暗裝在回風夾道或灰區內。利用箱內的低壓斷路器或漏電斷路器作過載、短路及漏電保護，并采用手動斷合操作。工藝配電箱配電按照工藝流程合理劃分。在腐蝕性區域內各類電氣設備及附件如支架、螺母等都應選用防腐蝕材料。防爆房間內電氣設備防爆等級符合規范要求，在爆炸危險環境內，電氣設備的金屬外殼應可靠接地。

5.導線選擇和線路敷設

潔凈室為密閉空間，一旦出現火情時煙氣不易排出，為確保工作人員的安全和健康，一般采用低煙無鹵電纜。為保證潔凈生產區的潔凈度，橋架、母線在技術夾層敷設。電纜在有橋架處在橋架內敷設，出橋架后穿鍍鋅鋼管敷設。由于潔凈廠房各專業管線較多，在設計時需與其他專業管道協調，做到清晰合理，方便使用和檢修。由非凈化區進入凈化區和不同級別凈化區之間的電氣管線，應在穿墻處和管口處做好密封處理，穿越防火墻的電氣線路均在出入口處作防火和密封處理。腐蝕間配電線路穿PVC管保護，支架等電氣附件均刷防腐涂料或選用防腐蝕材料。所有穿過防爆區場所內的隔墻的管線，穿厚壁鍍鋅鋼管敷設，且其鋼管與墻板間的縫隙均應按防爆施工要求做好密封。

6.配電設備的安裝方式

在潔凈區內配電箱在灰區、回風夾道處安裝。安裝于回風夾道內的配電箱箱體到位后，再按照配電箱的實際尺寸在金屬壁板上開洞。安裝于回風夾道的配電箱進線處需密封處理。

二、電子潔凈廠房照明系統

電子潔凈廠房照明分為一般照明、備用照明和應急照明。為保證潔凈生產區的潔凈度，潔凈廠房采用潔凈室專用的潔凈燈具，燈具安裝時，要密封處理好，便于更換燈管、清掃。當采用FFU龍骨時，照明燈具一般選擇配合FFU龍骨使用的燈具，避開風口，便于安裝。由于潔凈室照度要求較高，且風口較多，潔凈區的照明光源采用高效熒光燈，所有燈具均采用節能光源，對感光度有要求的生產場所(如光刻區)采用黃色光源。潔凈區主要生產用房一般照明照度值為300~5001x，輔助區照度值為200～300lx，電氣設計時需要與工廠使用部門溝通確認，以達到使用方的要求。備用照明作為正常照明的一部分，且不應低于該場所一般照明照度值的20%。生產廠房內設置供人員疏散用應急照明，其照度不低于5.01x。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉角處設置疏散標志。在專用消防口設置紅色應急照明指示燈。生產廠房技術夾層內管道多且復雜，應設置檢修照明，便于檢修人員使用。

三、電子潔凈廠房接地系統

電子潔凈廠房防雷接地與設備的工作接地、保護接地等共用接地網，接地電阻不大于1Ω。潔凈廠房內金屬物體包括潔凈室的墻面、門窗、吊頂的金屬骨架，應與接地系統做可靠連接；導靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應做靜電接地。潔凈室的凈化空調系統應做防靜電接地；潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或者粉體管道應采取防靜電接地措施。電氣設計中需要與工廠使用部門溝通，確定設備防靜電接地、信號接地、屏蔽接地、設備獨立接地的要求。分開設置的接地系統接地極應與共用接地系統接地極保持20m以上的間距，并且做好爆炸環境的防靜電接地、氫氣管道防靜電接地以及氧氣管道防靜電接地。

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