一、防火分區(qū)設(shè)計(jì)要點(diǎn)
電子潔凈廠房防火分區(qū)的劃分，應(yīng)該滿足以下要求：1)對(duì)于甲、乙類潔凈廠房，最好設(shè)計(jì)為單層，且單層廠房防火分區(qū)的最大允許建筑面積宜為3000m2，而多層廠房宜為2000m2；2)對(duì)于丙、丁、戊類潔凈廠房，其防火分區(qū)的最大允許建筑面積應(yīng)該滿足《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》中的有關(guān)要求；3)根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范的相關(guān)規(guī)定，對(duì)于耐火等級(jí)為一、二級(jí)的丙類電子工業(yè)潔凈廠房，如凈化空調(diào)回風(fēng)氣流中安裝有靈敏度不低于0.01%obs/m的極早期煙霧探測(cè)裝置，則每個(gè)防火分區(qū)的最大允許建筑面積可根據(jù)具體的生產(chǎn)工藝要求來予以確定。
二、疏散方面設(shè)計(jì)要點(diǎn)
電子潔凈廠房的安全疏散設(shè)計(jì)主要涉及安全出口、疏散走道疏散樓梯等。在疏散距離設(shè)計(jì)上，考慮到電子潔凈廠房本身的特點(diǎn)，應(yīng)在設(shè)計(jì)時(shí)充分考慮人員疏散的要求，全面分析疏散人流、疏散距離等因素，并經(jīng)過嚴(yán)格的模擬和計(jì)算，得出最佳疏散路線，同時(shí)對(duì)于安全出口及疏散通道的布置也要進(jìn)行合理規(guī)劃，使生產(chǎn)地點(diǎn)與安全出口之間搭建起便捷、暢通的逃生路線，而不必經(jīng)過曲折的凈化路線。在《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中，針對(duì)其工藝特點(diǎn)，疏散設(shè)計(jì)也提出了特別的要求。
三、電氣化方面設(shè)計(jì)要點(diǎn)
1)電源方面
潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的用電負(fù)荷、照明負(fù)荷應(yīng)由變電所專線供電。消防用電設(shè)備的供配電設(shè)計(jì)應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定執(zhí)行。電源進(jìn)線(不包括消防用電)應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并盡量設(shè)在潔凈區(qū)外便于管理的地點(diǎn)。潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷。穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。
2)報(bào)警系統(tǒng)
根據(jù)火災(zāi)發(fā)生的不同危害類型，報(bào)警系統(tǒng)有火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)和可燃有毒氣體報(bào)警系統(tǒng)之分。就火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)而言，根據(jù)我國現(xiàn)行《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的有關(guān)要求，潔凈廠房的機(jī)房、生產(chǎn)區(qū)站房等區(qū)域都必須安裝火災(zāi)探測(cè)系統(tǒng)。潔凈室具有循環(huán)風(fēng)量大、換氣頻率高等特點(diǎn)，通常設(shè)有下技術(shù)夾層、上技術(shù)夾層、生產(chǎn)層等多層空間，且上、下技術(shù)夾層和生產(chǎn)層相通，是空氣流通的重要通道，而下技術(shù)夾層中安設(shè)了很多輔助工藝設(shè)施及管道，工序復(fù)雜且彼此聯(lián)系密切，一旦發(fā)生火災(zāi)，很容易導(dǎo)致煙氣擴(kuò)散和污染，給潔凈室?guī)硎謬?yán)重甚至不可逆轉(zhuǎn)的破壞。為此，應(yīng)該在潔凈室回風(fēng)井或下技術(shù)夾層中設(shè)置空氣采樣式極早期報(bào)警系統(tǒng)，利用空氣采樣，分析室內(nèi)空氣中的粒子濃度，同時(shí)與歷史濃度不斷進(jìn)行對(duì)比，達(dá)到及時(shí)、靈敏的監(jiān)控效果。這樣的報(bào)警系統(tǒng)具有很高的靈敏度，可以在發(fā)生陰燃事故或火災(zāi)發(fā)生的第一時(shí)間檢測(cè)出空氣粒子濃度的反常變化，并進(jìn)行警報(bào)，使人員得以及時(shí)疏散，同時(shí)在火勢(shì)增大前將其控制和撲滅。
液晶生產(chǎn)與集成電路生產(chǎn)工藝中會(huì)用到一些可燃有毒的化學(xué)氣體，它們一般保存在潔凈室外的中間庫房之中，并按照所用氣體的性質(zhì)來選擇和安設(shè)報(bào)警系統(tǒng)。這些氣體應(yīng)該安放在特制氣瓶柜內(nèi)的不銹鋼氣瓶中，氣瓶柜應(yīng)該安裝排風(fēng)裝置和可燃有毒報(bào)警裝置，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)排風(fēng)氣體濃度，一旦出現(xiàn)泄漏事故，可以智能化關(guān)閉氣瓶的出氣控制閥門，并自動(dòng)噴射氮?dú)饣蚝鈦泶祾吖艿?/span>，清除其中的有毒可燃?xì)怏w。對(duì)于氣體的輸送管道，應(yīng)該選用不銹鋼材質(zhì)，通過自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)進(jìn)行焊接，管道必須進(jìn)行壓力測(cè)試和檢漏測(cè)試，測(cè)試達(dá)標(biāo)后方可使用。此外，在保存氣體的中間庫房中也要安裝可燃有毒報(bào)警裝置，當(dāng)發(fā)現(xiàn)泄漏時(shí)，可以自動(dòng)發(fā)出報(bào)警信號(hào)并開啟排風(fēng)機(jī)予以通風(fēng)處理。
3)應(yīng)急照明系統(tǒng)。
應(yīng)急照明也稱備用照明，制定一個(gè)實(shí)用、可靠的應(yīng)急照明系統(tǒng)對(duì)于潔凈廠房的火場(chǎng)逃生極為重要，在應(yīng)急照明系統(tǒng)的供電方案方面，可以采用一路市電加分散式自帶蓄電池電源的應(yīng)急燈，且其照度應(yīng)滿足所需場(chǎng)所或部位進(jìn)行必要活動(dòng)和操作的最低照度。
四、防排煙系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要點(diǎn)
易燃、易爆區(qū)域的排風(fēng)應(yīng)與一般區(qū)域分開，單獨(dú)設(shè)置，并采用防爆型排風(fēng)風(fēng)機(jī)；為確保生產(chǎn)安全和員工安全，應(yīng)設(shè)計(jì)事故排風(fēng)系統(tǒng)，且應(yīng)為該系統(tǒng)安裝自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān)，手動(dòng)控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點(diǎn)；潔凈廠房的走廊應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙裝置，考慮到潔凈廠房內(nèi)管線較為密集，若增加一套防排煙管道會(huì)存在一定難度，因此潔凈室機(jī)械防排煙系統(tǒng)可與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用，但必須輔以可靠的防火安全措施；風(fēng)管應(yīng)選用不燃材料，并按照有關(guān)規(guī)范要求來設(shè)置防火閥。
在防煙分區(qū)的設(shè)置上，為避免煙氣大范圍擴(kuò)散，通常將防煙分區(qū)面積控制在500m2以下。由于生產(chǎn)中會(huì)用到可燃有毒的特種氣體，當(dāng)發(fā)生火災(zāi)時(shí)，工藝設(shè)備內(nèi)往往有特氣殘留，因此需要讓工藝排風(fēng)系統(tǒng)以不低于正常狀態(tài)下50%的排風(fēng)量運(yùn)行。為了確保工藝排風(fēng)系統(tǒng)在火災(zāi)發(fā)生時(shí)能夠可靠運(yùn)作，應(yīng)該取消排風(fēng)管上的防火閥設(shè)置，盡可能避免其穿過防火墻。排風(fēng)管應(yīng)該選用不燃材質(zhì)，對(duì)于以玻璃鋼制造的酸堿排風(fēng)管道，要在風(fēng)管中安裝自動(dòng)噴水滅火噴頭；對(duì)于內(nèi)部可燃物濃度超過爆炸下限25%的溶劑排風(fēng)管道，也要在內(nèi)部安裝自動(dòng)噴水滅火噴頭。
五、滅火設(shè)備的合理選擇
潔凈室的生產(chǎn)層及上下技術(shù)加層均應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不小于10 L/s，每支水槍的出水量應(yīng)不小于5 L/s。對(duì)于潔凈室內(nèi)置有貴重儀器、設(shè)備的房間應(yīng)安裝固定滅火裝置。當(dāng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)采用預(yù)作用式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，當(dāng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時(shí)，不可使用會(huì)造成人員窒息或?qū)ΡＷo(hù)對(duì)象造成二次破壞的滅火劑。
考慮到傳統(tǒng)的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)無論是開式系統(tǒng)還是閉式系統(tǒng)，都很難滿足潔凈廠房對(duì)于無塵無菌的要求，也不可避免的會(huì)造成水漬的二次污染。因此，高壓細(xì)水霧作為一種新型滅 火技術(shù)則具有很大的優(yōu)勢(shì)。高壓細(xì)水霧滅火系統(tǒng)是由高壓水通過特殊噴嘴產(chǎn)生的細(xì)水霧來滅火的自動(dòng)消防給水系統(tǒng)，其具有一定的穿透性，用水量較少，不會(huì)產(chǎn)生二次污染，有利于保護(hù)貴重設(shè)備，更適于潔凈廠房的滅火需要。
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