以集成電路為代表的微電子產(chǎn)業(yè)和以TFT-LCD為代表的光電子產(chǎn)業(yè)對其生產(chǎn)環(huán)境(建筑、結(jié)構(gòu)、空氣、水、溶劑、供電、控制......)的要求極為嚴(yán)格和苛刻,而且隨著技術(shù)的不斷發(fā)展、更新?lián)Q代對環(huán)境的要求也不斷的升級。
建設(shè)潔凈廠房的投資非常高,費用非常大。而且潔凈廠房的潔凈級別高、凈化送風(fēng)量大,工藝設(shè)備排風(fēng)量大、新風(fēng)量大、廠房溫濕度要求嚴(yán)、精度高,空氣溫濕處理消耗能量大,運行耗電量大、運行費用高。目前高級別潔凈廠房的做法有以下幾種:
(1)局部高級別凈化代替全面高級別凈化
設(shè)計時應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的實際要求,該高則高,該低則低。在允許的情況下盡量將高級別凈化的加工空間控制在小區(qū)域范圍內(nèi),盡量減少高凈化級別面積,以局部高級別凈化代替全面高級別凈化,以降低初投資和運行費用。
(2)空氣處理和空氣輸送方式
在高潔凈級別的潔凈廠房設(shè)計中,空氣處理和空氣輸送方式大體可分為三類,即:空氣集中處理集中輸送方式,空氣半集中處理半集中輸送方式(海灣式、遂道式)和FFU加干盤管加新風(fēng)機(jī)組方式。
(3)空調(diào)和凈化分離
為了減少空氣熱濕處理過程中的無效能耗(如再熱等)和空氣輸送的能耗,在潔凈廠房設(shè)計中往往將保證潔凈廠房溫、濕度的空氣(10%左右)和保證室內(nèi)潔凈度的空氣(90%左右)分開處理,被稱作空調(diào)與凈化的分離。一般負(fù)擔(dān)室內(nèi)溫、濕度的部分空氣要經(jīng)過設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)的空氣處理機(jī)(AHU)進(jìn)行熱濕處理達(dá)到設(shè)計參數(shù)后送到送風(fēng)靜壓室內(nèi)。而負(fù)擔(dān)潔凈度的部分空氣就地附近循環(huán),同時在送風(fēng)靜壓室內(nèi)與經(jīng)空調(diào)器處理的部分空氣混合再經(jīng)過高效過濾器(HEAP)或超高效過濾器(ULPA)過濾后送到潔凈廠房內(nèi)。這樣不僅節(jié)省了冷卻和再熱的無效能耗同時減少了70%空氣的輸送能耗,另外還省掉了大約50~80%的空調(diào)機(jī)房面積。
(4)加強(qiáng)室外新風(fēng)的處理
為了提高產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率必須加強(qiáng)對新風(fēng)的凈化處理。常用的處理方法如下:
①噴水法是較好的處理方法,就是在新風(fēng)空調(diào)器中采用傳統(tǒng)的噴水室。噴城市自來和噴純凈水。采用噴水的方法對處理SOX、NOX、Na和Cl都有較好的效果,尤其是噴純凈水。
②采用化學(xué)過濾器和活性炭過濾器也是較好的方法:它們是利用物理吸附加上化學(xué)吸附的原理來處理低濃度分子態(tài)的化學(xué)污染物質(zhì)。采用化學(xué)過濾器和活性炭過濾器的同時要考慮到它們的再生,還原和廢棄處理等問題,不應(yīng)產(chǎn)生二次污染。某微電子廠的新風(fēng)處理機(jī)采用了十二個功能段(兩級加熱、兩級表冷、兩級淋水、四級過濾和一級加濕)。
潔凈空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計是個復(fù)雜的系統(tǒng)工程,而且隨著人們生活水平的日益提高以及對潔凈技術(shù)認(rèn)識的不斷深化,對潔凈空調(diào)技術(shù)也提出了更高的要求。在微電子領(lǐng)域等對潔凈技術(shù)要求較高的特殊場合下,研究空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計的特殊性以及探索開發(fā)出更科學(xué)合理的空調(diào)方式,對保證人體健康和工作效率具有深遠(yuǎn)而廣泛的現(xiàn)實意義。
?
?
廣東賽特凈化設(shè)備有限公司工程項目服務(wù)范圍:潔凈車間、無塵車間、百級生產(chǎn)車間、鋰電池車間、鋰電池潔凈車間、鋰電池?zé)o塵車間、電子材料潔凈車間、電子材料無塵車間、單晶硅潔凈車間、單晶硅無塵生產(chǎn)車間、二極管潔凈車間、二極管無塵車間、實驗室、微生物實驗室、膠囊潔凈車間、膠囊無塵車間、干細(xì)胞實驗室、凍干粉針劑潔凈車間、凍干粉針劑無塵車間、GMP車間、藥廠生產(chǎn)車間、電子廠無塵車間、食品廠潔凈車間、食品廠無塵車間、手術(shù)室、試劑室、膠體金生產(chǎn)車間、膠體金潔凈車間、生物實驗室、PCR實驗室、醫(yī)療器械無塵車間、醫(yī)療器械潔凈車間、藥廠潔凈車間、藥廠GMP車間、電子廠潔凈車間、保健品潔凈車間、保健品無塵車間、保健品GMP車間、大輸液潔凈車間、針劑潔凈車間、印刷車間、壓片糖潔凈車間、壓片糖無塵車間、奶粉潔凈車間、奶粉生產(chǎn)車間、奶粉無塵車間、口罩潔凈車間、口罩生產(chǎn)車間、光學(xué)材料無塵車間、光學(xué)材料潔凈車間、光學(xué)材料生產(chǎn)車間。
廣東賽特凈化設(shè)備有限公司聯(lián)系方式:020—38090335 ?38090329