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一、高純氣體 、特種氣體管道及其閥門附件等的材質(zhì)應(yīng)符合工程設(shè)計文件的要求。采用低碳不銹鋼管時，其安裝施工應(yīng)符合規(guī)范的規(guī)定。

二、管路系統(tǒng)的試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。

三、高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施安裝前，應(yīng)按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書的要求，檢查設(shè)備及填充的純化材料、閥門和管件的完整性、密封性，并應(yīng)做檢查記錄。

檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。

檢驗方法：觀察檢查、尺量。

四、純化設(shè)備、特氣柜的搬運(yùn)、就位應(yīng)符合下列規(guī)定：

1搬入潔凈室(區(qū))前應(yīng)進(jìn)行清潔，符合要求后應(yīng)從規(guī)定的設(shè)備搬入口運(yùn)入；

2整體設(shè)備搬運(yùn)時，應(yīng)按設(shè)備的構(gòu)造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運(yùn)輸，不得倒置，并應(yīng)可靠固定；

3設(shè)備就位時，應(yīng)按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書要求，做好接管、接線定位；

4就位后，水、電接口應(yīng)按工程設(shè)計文件要求連接；

5氣體管道接口應(yīng)在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后再連接。

檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。

檢驗方法：觀察檢查、尺量。

五、高純氣體、特種氣體系統(tǒng)的閥門箱、吹掃盤的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：

1應(yīng)檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等，并應(yīng)做好記錄；

2安裝位置應(yīng)按工程設(shè)計文件、產(chǎn)品說明書要求進(jìn)行，并應(yīng)檢查接管、接線方位的正確性；

3氣體管道接口應(yīng)在所在系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后再連接。

檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。

檢驗方法：觀察檢查、尺量。

六、高純氣體、特種氣體設(shè)施施工安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)的純度測試應(yīng)符合下列規(guī)定：

1純度測試介質(zhì)，宜采用工作氣體進(jìn)行。

2測試氣體的壓力，宜與輸送介質(zhì)的設(shè)計壓力相同。

3測試氣體的檢測取樣口或排氣接口，應(yīng)設(shè)在供氣系統(tǒng)中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量最嚴(yán)格且距離最長的用氣設(shè)備處。

4純度測試過程，取樣時間的間隔宜為4h；氣體樣品應(yīng)采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應(yīng)的精度等級的儀器進(jìn)行分析。

5當(dāng)測試氣體進(jìn)、出口的純度及其氧痕量、水痕量等雜質(zhì)含量達(dá)到一致時，應(yīng)認(rèn)為純度測試合格。

檢查數(shù)量：按系統(tǒng)全數(shù)檢查。

檢驗方法：儀器檢查。

七、管路系統(tǒng)的試驗應(yīng)符合下列規(guī)定：

1高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施的強(qiáng)度試驗、氣密性試驗和泄漏量試驗及試驗壓力均應(yīng)按工程設(shè)計文件要求執(zhí)行。

2試驗氣體宜采用無油干燥壓縮空氣或純氮?dú)饣蚣兒?/span>；試驗氣體壓力按規(guī)定逐步升至系統(tǒng)強(qiáng)度試驗壓力后，應(yīng)保持10min，然后降壓至氣密性試驗壓力，檢查接口、焊縫，應(yīng)以不漏為合格。

3氣密性試驗合格后，進(jìn)行泄漏量試驗，試驗氣體為純氮或無油干燥壓縮空氣時，系統(tǒng)應(yīng)以設(shè)計壓力保持24h，?檢查泄漏率不超過0. 5%為合格。采用氦氣為試驗氣體時，系統(tǒng)應(yīng)以設(shè)計壓力保持1h，檢查泄漏率不應(yīng)超過0.5%為合格。不合格時，應(yīng)檢查原因并進(jìn)行完善后，再進(jìn)行泄漏量試驗，直至合格為止。

4管路系統(tǒng)的試驗，不應(yīng)包含純化設(shè)備、特氣柜和閥門箱等。

檢查數(shù)量：按系統(tǒng)全數(shù)檢查。

檢驗方法：觀察檢查、儀表檢查。

八、管路吹掃應(yīng)符合 下列規(guī)定；

1應(yīng)按氣體品種、工作參數(shù)分系統(tǒng)分別進(jìn)行吹掃。

2管路系統(tǒng)應(yīng)采用0.3MPa~0.5MPa的無油干燥壓縮空氣或純氮進(jìn)行吹掃，吹掃氣體應(yīng)設(shè)置過濾精度嚴(yán)于0.3μm的氣體過濾器去除微粒；對輸送可燃?xì)怏w的管路宜采用純氮吹掃。

3在管路系統(tǒng)吹掃氣體排出口設(shè)靶檢查，應(yīng)以靶上未見微粒為合格；對輸送可燃?xì)怏w的管路系統(tǒng)，應(yīng)以排出口吹掃氣體中含氧量小于1%為合格。

檢查數(shù)量：按系統(tǒng)全數(shù)檢查。

檢驗方法：觀察檢查、儀表檢查。

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