一、原理

（1）保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。

（2）可按以下方法進行檢測：

1.壓力衰減法

使室內達到某一壓力(正壓或負壓)，關閉加壓或抽負壓系統，觀察壓力隨時間哀減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的半時所用的時間，即為測量室內正壓或負壓的半衰期。

2.恒壓法

使室內達到某一正壓，同時向室內補氣，使室壓達到要求的穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓，使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。

二、壓力衰減法

（1）可按以下步驟進行檢測

1.將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記錄壓力衰減測試過程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

2.關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風管(或排風管)上的氣密閥門，不得在風口上加其他密封措施，并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。

3.開啟送風，使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa)，壓力穩定后，停止送風，關閉送風閥門。

4.或反之關閉送風管上的閥門，如果送風管上無閥或閥不嚴，應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口，開啟排風，使室內壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩定后，停止排風，關閉排風氣密閥門。

5.從停止送(排)風起，記錄壓力隨時間衰減的數據，每1min記錄1次壓差和溫度，連續記錄至室內壓力下降至初始壓力的一半時止。

6.測試結束后慢慢打開風閥，使房間壓力恢復到正常狀態。

7.如果需要進行重復測試，20min后進行。

8.當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。

（2）檢測報告應包括以下內容：

1.檢測條件，包括室內溫度等。

2.檢測方法，包括檢測所用儀器設備規格型號及精度；所測潔凈室壓力、溫度的動態變化；檢測持續的時間。

3.檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/2時的時間內壓力衰減率；所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價

三、恒壓法

（1）可按以下步驟進行檢測：

1.將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記錄測試過程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

2.關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風管(或排風管).上的閥門，如果風管上無閥或閥不嚴，應在回風口(或排風口)上用塑料膜加盲板的方法封住風口。

3.開啟送風，使室內壓力上升至500Pa，停止送風，關閉送風閥門。通過圍護結構上的孔洞和導管，由送風機或空氣壓縮機向室內補氣，通過調節安裝在導管上的調節閥調整補氣流量，以維持潔凈室內的壓力穩定不下降，每隔1min記錄一次補氣管路上浮子流量計讀數，此數即為漏氣量，測試持續的時間宜不超過5min，取平均值。

4.反之關閉送風閥，開啟排風，當室內壓力下降至一500Pa時關閉排風，開啟真空泵保持室內壓力，記錄真空泵抽氣量，此數即漏泄量。

5.測試結束后慢慢打開風閥，使房間壓力恢復到正常狀態。

6.如果需要進行重復測試，20min后進行。

7.當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。

（2）檢測報告應包括以下內容：

1.檢測條件，包括室內溫度等。

2.檢測方法，包括檢測用儀器設備規格型號及精度；室內溫度的動態變化；漏泄量的動態變化。

3.檢測結果包括所測潔凈室5min內的每小時漏泄率；所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。

四、安全要求

1.應制定防范預案。

2.必須對被檢驗室內的溫度進行監測。

3.恒壓法測試持續時間不宜太長。

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