一、潔凈室主體結構施工
主體結構混凝土施工質量對潔凈度控制有極大的影響。高潔凈度廠房在混凝土裂縫控制、耐久性、外觀質量等方面較普通廠房建筑有更高的要求。在裂縫的控制上較一般工程更為嚴格，要求達到無肉眼可見裂縫，杜絕貫穿裂縫等有害裂縫的存在。工程所采用混凝土，按普通混凝土高性能化的技術路線，進行原材料優化選擇、配合比優化設計和施工過程的有效控制，確保了混凝土的高質最要求。
出于高潔凈度需要和工藝、設備管線布置的要求，潔凈室采用承載能力大、空間布置靈活的密孔樓板，這種樓板能很好地滿足芯片生產設備的管線安裝布置及潔凈度要求。
密孔樓板施工采用圓孔華夫模板，二層華夫板面需直接做超潔凈環氧地坪，對板面混凝土密實度和表面強度要求嚴格，板面平整度偏差在3mm內不大于±3mm，表面原漿壓光，一次成型。
二、潔凈室裝飾裝修施工
潔凈室的建筑裝飾施工應在廠房屋面防水工程和外圍護結構完成、外門及外窗安裝完畢后進行。潔凈室可采用金屬墻板裝配式結構，也可采用砌筑墻或現澆混凝土墻抹灰等形式。
潔凈室建筑裝飾施工應采用不起塵、不開裂的材料，在施工過程中須特別注意各種接縫的處理，防止開裂、起塵，并在接縫處采用密封膠填塞，接縫處的縫隙不應大于0.5mm。建筑裝飾及門窗的縫隙應在潔凈室的正壓面密封。
（1）環氧樹脂自流平地坪施工
為保證高潔凈度，墻面、部分地面采用環氧涂料。環氧樹脂自流平地坪施工流程：原地面地處理(對所施工地板進行全面打磨、修補、除塵)→底涂層處理(將底涂材料用滾筒滾涂或鏝刀刮涂)→鋪設石英砂漿層→中涂層處理(待砂漿層固化，打磨、除塵后用鏝刀刮涂調配好的中層材料)→面涂層處理(對中涂層打磨、吸塵，再將面涂材料鏝涂于中涂層之上，使之自平流展）
（2）內墻環氧乳膠漆施工
內墻環氧乳膠漆施工在室內門窗、燈具安裝完畢后進行。先做頂棚，再做墻面，最后做分色線。
施工流程：基層處理→刷底膠(木質及油漆面除外)→木質基層封閉→局部補膩子→滿刮膩子→刷底層涂料→刷面涂料→保潔和保護。
室內裝飾施工往往會有其他工種的交叉作業，應注意涂料工程的成品保護：已施工墻面如受到污染，可用干凈的濕抹布輕輕擦洗，污染嚴重時應重新涂刷；如不慎沾上油漆，應在油漆干燥前，用稀釋劑將其擦去；涂層干后，在交工前不得長時間浸水，以免發生質量事故；涂刷工具用畢應及時清洗干凈并安善保管。柱、墻、梁陽角均抹圓處理以防碰壞落灰或積灰，踢腳不超出墻、柱平面，防止積灰。
（3）高架地板施工工藝
①放樣
根據施工圖，用經緯儀在現場放出X，Y軸線，用鐳射儀放出水平基準線。每個區域中部放一基準軸線和水平基準線，并放出輔助軸線和水平標高線。
②基準排鋪設
沿X，Y軸基準線，各鋪設6排地板，調整使其與軸線對齊，與標高相平，以該6排作為基準排。
③大面鋪設、調平
沿基準排逐排鋪設大面地板，將腳架擺放于相應位置，一般區腳架為φ48管，加強區腳架為φ60管。利用鐳射儀調整上基座至接近地板下之高度位置(粗平)。腳架調平后開始抹膠，膠應均勻地涂抹于底盤上。為保證抹膠均勻，抹膠工作由專業技術人員負責進行。
將抹好膠的腳架置于地面，同時擺放縱橫向的橫梁，一般區為25 mm×25 mm×558 mm的門形橫梁，加強區為25 mm×25 mm×558 mm方形橫梁且中間加一支25mm×25 mm×776 mm的加強斜梁。鎖橫梁螺絲，橫梁螺絲的規格為12M6的十字沉頭螺絲。
敲導電墊片并鋪地板。利用鐳射儀調整上基座，使地板表面高度與水平標高線相平(精平)。在大面施作時，每50排需用經緯儀檢驗X，Y軸之垂直適合位移，隨時進行調整修正，最后應進行收邊處理。
三、高潔凈度芯片廠空調及管道系統安裝關鍵技術
凈化空調及管道系統的施工安裝是高潔凈廠房施工的最重要組成部分，必須按高潔凈廠房的整體施工要求、進度安排和潔凈室特有的施工程序進行組織。
（1）風管施工安裝
采用自動剪板機進行風管下料，根據不同管徑確定其施工順序如下：
①管徑2000 mm以下風管：工廠加工(半成品)→運至預制廠組裝成成品→運至現場清潔→吊裝→漏光試驗→保溫；
②管徑2000 mm以上風管：工廠加工(半成品)→運至預制廠組裝加固→清潔→吊裝→漏光試驗→保溫。
（2）管道安裝
①支吊架預制及安裝
根據施工圖及現場情況，繪制完整的支吊架制作大樣圖。支吊架安裝按《通風與空調施工質量驗收規范》執行。潔凈室區域采用鍍鋅型材。鍍鋅型材焊接完成后，在焊縫處嘖涂一遍鍍鉻噴漆。支吊架的預制遵循“先主后次，先主管、后支管，先大管，后小管”的施工程序。
②管道吊裝
用起重機將每一樓層所需管子吊到該層。考慮安裝過程中的安全性，針對大口徑管道，吊裝選用手拉葫蘆和卷揚機相結合的方式。在管道系統端部搭投一個臨時吊裝架，先用單軌吊車或卷揚機將管子提到吊裝架上(如條件允許，可用起重機直接將管子吊至吊裝架上)，然后用卷揚機在另一端水平牽引，將管子拉上支架固定。其他樓層則根據現場情況選用合適的吊裝方式。
③管道安裝
工程中所用管材中鍍鋅鋼管居多，其次是不銹鋼管，再次是U-PVC管。鍍鋅鋼管直徑大于50 mm以上者采用焊接，直徑不大于50mm時采用螺紋連接；不銹鋼管全部采用氬弧焊；PVC管采用膠水粘接。管道安裝完成后進行氣壓及水壓試驗。承壓管道的試驗壓力按工作壓力1.5倍計，冷凝水管做通水試驗。
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