一、潔凈室的空調負荷

潔凈室的凈化空調負荷由下面幾部分組成：

1、室內負荷

主要包括：

①室內作業人員的散熱、散濕負荷。

②室內照明燈具的散熱負荷。

③潔凈室圍護結構(墻、頂、地、門、窗)的傳熱、傳濕負荷。

④生產設備和生產過程的散熱、散濕負荷。

2、潔凈室新風處理的熱、濕負荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。

3、空氣輸配時風機(或FFU) 的溫升和水泵的溫升負荷。

二、潔凈室的空調負荷特點

1、潔凈室(100級，10級，1級)是垂直單向流潔凈室，其送風機的風量非常大，高達400~500次/h換氣，而且風機的壓頭也很高，一般多在1000~1500Pa，因此風機溫升的負荷大。

按理論計算：在集中送風方式的系統中，風機的溫升為1.5℃，僅此一項的負荷就是500~700W/m²； 如果采用FFU送風方式，風機溫升的負荷也要250~350 W/m²。因此，風機溫升的負荷大是其一個負荷特點。

2、服務于微電子和光電子的潔凈室因工藝排風量大，所以新風量也很大，新風量一般在10~20次/h 換氣；因此，處理如此多新風的負荷大約為400~800 W/m²；個別工藝的排風量更大，固新風負荷也還會更大。因此新風負荷大是其第二個負荷特點。

3、生產設備和生產過程的散熱、散濕負荷大，是潔凈室的第三個負荷特點。生產負荷的大小是與工藝生產本身的性質、生產設備的密閉、保溫、通風以及水冷卻的情況有關。

4、圍護結構的傳熱、照明燈具的散熱以及作業人員的發熱這三項負荷相對比較小，三項負荷之和還不足總空調負荷的10% (其中：照明負荷大約25~30W/m²?；圍護結構負荷大約20~30W/m²；作業人員負荷大約10~15W/m²)，這是潔凈室第四個負荷特點。

三、電子工廠潔凈室空調凈化系統的節能

研究潔凈室的空調凈化系統節能，應首先從分析其空調負荷特點入手，抓住空調負荷中的主要矛盾，才能事半功倍。從前面可知，潔凈室空調負荷中占90%以 上的負荷是：新風負荷、風機溫升負荷和工藝設備和工藝過程負荷三項。這是它的主要矛盾。

1、降低新風空調負荷的節能措施

①減少排風量。改進工藝和工藝設備，盡可能不排風，少排風。采取密閉式排風罩在同等的排風效果下盡量減少排風量。

②減少正壓漏風量。加強潔凈室圍護結構的密封性，既能保持潔凈室必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風量。

③提高新風空氣處理設備的效率。

2、降低風機溫升負荷的節能措施

①在確保潔凈室潔凈度的前提下，盡量減少送風量，盡量用局部高凈化來替代全面高凈化。

②加強空調設備和空調系統的密閉性，減少漏風量。

③采取凈化送風與空調送風分離的送風方案，使90%的凈化送風量就近循環以減少風機溫升負荷。

④采用FFU加新風機組加干盤管的送風方式以減少風機溫升負荷。

⑤提高風機效率，采取變頻措施。

3、工藝設備和工藝過程的發熱是工藝生產本身的問題，只能依靠工藝自己來解決。

4、除上述措施之外，還可采取如下措施

①加強水管和風管的保溫。

②減少冷熱源的跑、冒、滴、漏。

③采取熱回收，充分利用廢熱。

④盡量利用天然能源作空調系統的預冷和預熱，如：太陽能、地下水、土壤能等。

⑤利用蓄冰和蓄熱等優惠政策。

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